簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "莊敏宏".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="氧化鋅"


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    以反應式離子束濺鍍沉積法成長之氧化鋅薄膜的特性分析
    • 電子工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 林軒至 指導教授: 趙良君
    • 本文使用反應式離子束濺鍍沉積法,在晶向(100)的矽基板上成長氧化鋅薄膜,觀察不同成長溫度、氧通量和基板偏壓對薄膜造成的影響。300℃時,有弱的近能隙發光和強的綠光缺陷發光;500℃時,有強的近能隙…
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    使用反應式離子束濺鍍法沉積製備掺氮氧化鋅薄膜
    • 電子工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 石喻任 指導教授: 趙良君
    • 以離子濺鍍法,在沈積氧化鋅薄膜同時,除了通入氬氣作為轟擊靶材之離子源,也直接加入氮氣,可將氮摻雜到氧化鋅薄膜,形成摻氮氧化鋅(ZnO:N)。以XRD分析成長溫度為300C之摻氮氧化鋅薄膜中只有氧化…
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